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Surf-Cal 尺寸標準微粒

Surf-Cal 尺寸標準微粒用於半導體工業的掃描表面監測系統(SISS)的校準，滿足SEMI 標準規則要求。所提供的微粒尺寸包括半導體國際技術藍圖 (ITRS)定義的關鍵的尺寸節點的大小。Surf-Cal標準品可用來簡化您工廠內校準晶片的準備工作。可提供的微粒尺寸與儀器生產商要求的校準點大小一致。

Surf-Cal 尺寸標準微粒用於半導體工業的掃描表面監測系統(SISS)的校準，滿足SEMI 標準規則要求。所提供的微粒尺寸包括半導體國際技術藍圖 (ITRS)定義的關鍵的尺寸節點的大小。

Surf-Cal標準品可用來簡化您工廠內校準晶片的準備工作。可提供的微粒尺寸與儀器生產商要求的校準點大小一致。

將Surf-Cal 系列NIST 溯源的聚苯乙烯微粒置於特別選定的晶片上，您就可以執行定期校準檢查，並可將您的掃描儀與其他地方的掃描儀進行對比。

您也可以在生產過程中的關鍵階段對SSIS 系統進行性能評估。

這一系列標準品懸浮於過濾過的去離子水中，濃度3 x108個微粒 / mL，包裝單位：50ml/瓶裝。 1.112um（貨號：PD1100）及以下粒徑還提供濃度為1010個微粒/mL 的濃度產品，主要用於微分遷移率分析儀（DMA）或其它尺寸排除技術輔助的領域。

測量方法：

為了確保能直接溯源至NIST，這些產品獲得認證的直徑是通過投射電子顯微鏡，或光學顯微鏡由NIST標準參考物質轉移而得的。不確定度是根據NIST技術註釋1297, 1994版“評估與表達NIST測定結果不確定度的導則”計算而得。認證證書中標明的不確定度值是採用覆蓋因子2(K=2)擴展後的不確定度。峰值直徑是採用微粒尺寸分佈± 2s的範圍計算而得。計算的尺寸分佈作為峰值的標準偏移圖。變異係數是指一個標準差與峰值直徑的百分比。 FWHM分佈是半峰值高的分佈佔據峰值直徑的百分比計算而得的。

Surf-Cal系列微球產品列表：

訂購貨號	產品描述（名稱，粒徑，濃度，體積）	包裝單位/瓶
PD-047	Surf-Cal系列標準微球，0.047µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD-047B	Surf-Cal系列標準微球，0.047µm，1e11，50ml	50ml/瓶
PD-064	Surf-Cal系列標準微球，0.064µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD-064B	Surf-Cal系列標準微球，0.064µm，1e11，50ml	50ml/瓶
PD-083	Surf-Cal系列標準微球，0.083µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD-083B	Surf-Cal系列標準微球，0.083µm，1e11，50ml	50ml/瓶
PD-092	Surf-Cal系列標準微球，0.092µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD-092B	Surf-Cal系列標準微球，0.092µm，1e11，50ml	50ml/瓶
PD-100	Surf-Cal系列標準微球，0.100µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD-100B	Surf-Cal系列標準微球，0.100µm，1e11，50ml	50ml/瓶
PD-125	Surf-Cal系列標準微球，0.126µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD-125B	Surf-Cal系列標準微球，0.126µm，1e11，50ml	50ml/瓶
PD-155	Surf-Cal系列標準微球，0.155µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD-155B	Surf-Cal系列標準微球，0.155µm，1e11，50ml	50ml/瓶
PD-200	Surf-Cal系列標準微球，0.202µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD-200B	Surf-Cal系列標準微球，0.202µm，1e11，50ml	50ml/瓶
PD-204	Surf-Cal系列標準微球，0.204µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD-204B	Surf-Cal系列標準微球，0.204µm，1e11，50ml	50ml/瓶
PD-215	Surf-Cal系列標準微球，0.220µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD-215B	Surf-Cal系列標準微球，0.220µm，1e11，50ml	50ml/瓶
PD-305	Surf-Cal系列標準微球，0.304µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD-305B	Surf-Cal系列標準微球，0.304µm，1e11，50ml	50ml/瓶
PD-365	Surf-Cal系列標準微球，0.360µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD-365B	Surf-Cal系列標準微球，0.360µm，1e11，50ml	50ml/瓶
PD-500	Surf-Cal系列標準微球，0.494µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD-500B	Surf-Cal系列標準微球，0.494µm，1e11，50ml	50ml/瓶
PD-800	Surf-Cal系列標準微球，0.809µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD-800B	Surf-Cal系列標準微球，0.809µm，1e11，50ml	50ml/瓶
PD-802	Surf-Cal系列標準微球，0.802µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD-802B	Surf-Cal系列標準微球，0.802µm，1e11，50ml	50ml/瓶
PD1100	Surf-Cal系列標準微球，1.112µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD1100B	Surf-Cal系列標準微球，1.112µm，1e11，50ml	50ml/瓶
PD1600	Surf-Cal系列標準微球，1.59µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD2000	Surf-Cal系列標準微球，2.01µm，3e8，50ml	50ml/瓶
PD3000	Surf-Cal系列標準微球，3.04µm，3e8，50ml	50ml/瓶